inSync映芯諧振由國內外經驗豐富的MEMS科研、產品化和工程化團隊組成,提供業界領先的技術指導和方案咨詢服務,詳情歡迎來電來函垂詢交流。
針對HUD、ARVR等激光投影顯示的應用領域,MEMS光機掃描方案(LBS:Laser Beam Scanning)作為其中具備相當優勢的技術方案,憑借其分辨率高、尺寸小、功耗低、可靠性高而被越來越多的應用,市場需求不斷增長。
然而當前主要MEMS掃描器驅動技術的還存在如下不足:
MEMS鏡面孔徑小不滿足laser beam的光學孔徑尺寸要求;靜電驅動MEMS方案在ARVR眼鏡應用中存在高電壓的安全隱患,而電磁驅動MEMS方案則存在體積大,裝配復雜體積高功耗,發熱的問題;另外,傳統外置壓電陶瓷驅動MEMS的方案由于外置壓電陶塊孔隙率高,而導致單位體積輸出力小,體積大,并且裝配復雜,產能低成本高;
inSync采用PZT定向晶體集成驅動MEMS的方案,利用定向晶體壓電系數高, 輸出力大的優點實現了支持大孔徑微鏡驅動的能力,另外薄膜工藝致密, 擊穿電場高, 單位體積輸出力大器件小巧;壓電薄膜驅動電壓低(<30V),其靜態電流為零,功耗低;可參照如下參數對比表:

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